日本HORIBA緊湊型質量流量計控制器

日本HORIBA緊湊型質量流量計控制器

D700T是專為關鍵半導體制造工藝設計的性能最佳的壓力不敏感質量流量模塊。D700T采用HORIBACRITERION基于壓力的流量測量和控制技術，提供業(yè)界的可重復和準確的性能。此外，D700T在于采用雙閥結構高級流量控制算法，使客戶的氣體輸送系統(tǒng)能夠解決多個挑戰(zhàn)。

全局快速沉降時間<100ms(一組一組，升壓和降壓)

入口和出口壓力不敏感性能

先進的故障檢測，診斷壓力傳感器移位、閥座泄漏和流量精度變化

士0.8百分比(華氏涅度10-100百分比)

士0.08%華氏度(0.2-10%6華氏度的)

士0.05%S.P./C(10-100華氏度)士0.005%華氏度/C(0.2-10華氏度))

士0.5%蘇格蘭元/年

士0.15%S.P.(10-100%F.S.)

士0.015%6華氏度(0.2-10%華氏度)

<100亳秒(1-100華氏度)

<500亳秒(0.2-1華氏度)

士1%標準差(10-100%6華氏度)士01%標準差(0.2-10華氏度))

≤0.02%F.S.或0.015 SCCM(N，)，以較大者為準

D717T

工藝氣體(不可配置)

不可配置

M:240-450kPa(A)(不可配置)

>240千帕(D)

<53.3千帕(A)

0.5-100華氏度

士0.8百分比(華氏涅度20-100百分比)

士0.16%華氏度(0.5-20%6華氏度)

士0.05%S.P./°C(20-100°F.S.)士0.01%S.S./°c(0.5-20°F.s.)

士1%蘇格蘭元/年

士0.15百分比(華氏涅度20-100百分比)

士0.03%6華氏度(0.5-20%6華氏度)

正常關閉/壓電執(zhí)行器

<100亳秒(1-100華氏度)

<500毫秒(0.5-1%華氏度)

士2%S.P.或士0.5%F.S.，以較大者為準

士2%S.P.或士0.5%F.S.，以較大者為準

士19標準偏亞(20-100百分比標準偏無)

士0.2%華氏度(0.5-20%華氏座)

<0.1%F.S.或0.015SCCM(N，)